流量控制器组织结构摘要

　　对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

流体流量控制器，它具有一个测量流体流量的传感器，和一个响应该传感器的致动器，包括：输入管道部件，它限定一个用于接收流动流体的输入管，并且限定一个穿过所述的部件的流体流动孔口；中间管道部件，它用于接收由所述的输入管道部件向下流侧流动的流体，并且限定一个穿过所述的中间管道部件的流体流动孔口；输出管道部件，它用于接收由所述的中间管道部件向下流侧流动的流体，并且限定穿过所述的输出管道部件的流体流动孔口；一个安装在所述的中间管道部件的阀座；一个附装在所述的阀座上的阀门门元件；一个门元件控制器，具有一个控制器杆部件，它具有门元件控制部分，安装部分，以及致动部分，和一个用于所述的控制器杆部件的安装部件，它具有一个膜片，所述的控制器杆部件沿着所述的控制器杆部件安装部分与所述的膜片相连接，所述的控制器杆部件的所述的致动部分和门元件控制部分，可以沿相反的方向相对所述安装部件的位置，响应所述致动器移动到多个可选择位置，以调节所述的流体流速为多个可选择的流动流速的位置，所述的膜片基本上承载着所述的控制器杆部件的全部部件的支撑重量。

　　***地定量控制流量

质量流量控制器，它具有一个由控制杆部件控制的阀门，控制杆部件基本上以可转动安装方式安装在一个金属膜片上，而该金属膜片可跟随杆部件的移动而伸张和不伸张。可以由致动器连线的膨胀和收缩实施杆部件的致动作用。穿过控制器的流体流动主路径是直线形的。提供一个平行的传感器流体流动通路的传感器管道，是利用金属密封元件定位连接的，该密封元件沿朝向流体流动主路径的孔口伸延，并且沿通过这一孔口的方向环绕。沿流体流动主路径的以产生通过传感器管道的流动的压力落差，由具有一个芯体和多根沿该芯体伸延的连线的限流器制取，这些连线在芯体和位于传感器管道的输入侧和输出侧的连接件附近的锥形流体流动通路之间被挤压。芯体的形状可以为球形或锥形。可以用下述的方式将一个阀座轴套安装在构成流体流动主路径的管道部件中。该方式为施加相对于轴套的一个端部表面的力。栓锁住轴套的移动，以改变其端部表面的形状，将轴套的外侧管壁推向管道部件的内侧管壁，并且将轴套固定在管道部件上。在控制杆部件和作为阀门的门元件的球体之间的连接关系中，一根具有轴套筒的细长杆棒可以用来将球体固定在控制杆部件上。可以用将杆棒固定在细长轴套上的方式实施杆棒的安装，它距控制器杆部件的门元件一侧的距离，大于由控制器杆部件的门元件一侧至球体位置之间的距离。

　　质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。

　流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

　　适用范围宽

　　质量流量控制器可以***地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。

　　测量控制的自动化

　　有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体，如HCL);有很宽的流量范围，我们的产品***流量范围可达0～5sccm，***流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2～100% 量程比为--50:1, 因此在很多领域得到广泛应用。